1、产品概述
HQ-RTS-P系列高精度红外测温仪具有很高的信噪比。能够以极高精度测量较低的温度来控制工艺过程。
HQ-RTS-P系列采用蓝宝石光棒(即“光管”)作为镜头收集来自目标的红外辅射,光管镜头的忧点是可提供较低的温度测量值,并易于集成到通常用于高级材料沉积(生长)和蚀刻(去除)工艺的真空反应设备。
2、性能参数