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红外光学温度计

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红外光学温度计

红外光学温度计是一种测量光并通过校准以指示温度的设备。红外光学温度计检测来自热物体的辐射通量,并利用普朗克黑体辐射方程算法来计算物体的表面温度。所用的算法是基于普朗克黑体辐射方程。

红外光学温度计通过测量物体辐射的红外能量来计算物体的表面温度。半导体行业的红外温度计主要应用于晶体生长阶段,分为Si探测器、铟镓砷探测器以及热电堆探测器三种。从测温原理上分为比色和单色,从光通形式分为透镜型及光导型。

和其光电HQ-RTS系列红外温度计可应用于MOCVD、氧化扩散炉、PVD、CVD、ALD等半导体设备,具有高精准度、高重复性、高可靠性、可定制、技术支持快速响应等诸多优势。



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