和其光电受邀参加2023碳化硅关键装备、工艺及其他新型半导体论坛

栏目:展会信息 发布时间:2023-05-05

5月5日和其光电参加2023碳化硅关键装备、工艺及其他新型半导体论坛。期间一家做碳化硅长晶炉的企业负责人感叹:“这次他参加展会最大的收获是找到了和其光电,在高精度红外测温产品供应上,国外企业目前不仅交期保证不了,而且精度满足不了他们的温场分布测试要求。”

参会的大部分企业都是和其光电的用户,因为在碳化硅长晶炉、外延炉、高温离子注入机、高温激活炉、高温氧化炉、高温退火炉、立式LPCVD、卧式LPCVD、多腔PVD、刻蚀机等,凡是高温的地方,都需要高精度红外测温。