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TC Wafer/RTD

栏目：半导体领域—晶圆测温 发布时间：2025-12-03

一、概述

TC Wafer/RTD-Wafer直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布;同时，也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化，例如:升温，降温过程及延迟周期等。

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二、性能参数

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